I le 2020, e sili atu i le tiliona tupe meataalo na gaosia i le lalolagi atoa, lea e tutusa ma le 130 tupe meataalo e umia ma faʻaaogaina e tagata taʻitoʻatasi i luga o le paneta.Ae ui lava i lea, o le le lava o chips talu ai nei o loʻo faʻaauau pea ona faʻaalia e leʻi oʻo le numera i lona pito i luga.
E ui lava ua mafai ona gaosia tupe meataalo i luga o se fua tele, o le gaosiaina e le o se galuega faigofie.O le faagasologa o le gaosiga o meataalo e lavelave, ma o aso nei o le a tatou aofia ai laasaga e ono sili ona taua: faʻapipiʻi, faʻapipiʻi ata, lithography, etching, faʻapipiʻi ion, ma afifiina.
Taofi
O le laasaga o le faʻaputu e amata i le wafer, lea e tipi mai le 99.99% mama silicon cylinder (e taʻua foi o le "silicon ingot") ma faʻapupulaina i se mea sili ona lamolemole, ona teuina lea o se ata manifinifi o le conductor, insulator, poʻo le semiconductor material. i luga o le wafer, e faʻatatau i le faʻatulagaina o manaʻoga, ina ia mafai ona lolomiina le vaega muamua i luga.O lenei laasaga taua e masani ona taʻua o le "deposition".
A'o fa'aitiiti ma fa'aitiiti tupe meataalo, e fa'afaigata fo'i le faiga o lomitusi i luga o fasi pepa.O le alualu i luma i le teuina, togiina ma le lithography o le ki lea i le faʻaitiitia o tupe meataalo ma faʻauluina ai le faʻaauauina o le Tulafono a Moore.E aofia ai ma faiga fou e fa'aogaina ai mea fou e fa'amanino atili ai le fa'agasologa.
Ufiufi Photoresist
Ona fa'apipi'i lea o ga'o i se mea e fa'alogoina ata e ta'ua o le "photoresist" (e ta'ua fo'i o le "photoresist").E lua ituaiga o photoresists - "photoresists lelei" ma "photoresists leaga".
O le eseesega tele i le va o photoresists lelei ma le leaga o le fausaga kemikolo o mea ma le auala e tali atu ai le photoresist i le malamalama.I le tulaga o photoresists lelei, o le vaega o loʻo faʻaalia i le malamalama o le UV e suia le fausaga ma sili atu ona soluble, ma saunia ai mo le togiina ma le teuina.O photoresists leaga, i le isi itu, polymerize i vaega o loʻo faʻaalia i le malamalama, lea e sili atu ai ona faigata ona faʻamavae.Photoresists lelei e sili ona faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductor aua e mafai ona latou ausia le maualuga maualuga, ma avea ai i latou ma filifiliga sili atu mo le lithography stage.O loʻo i ai nei le tele o kamupani i le lalolagi atoa o loʻo gaosia photoresists mo le gaosiga semiconductor.
Photolithography
Photolithography e taua tele i le faagasologa o le gaosiga o chip aua e iloa ai le laʻititi o transistors i luga o le pu.I lenei laʻasaga, o loʻo tuʻuina i totonu o se masini photolithography ma faʻaalia i le malamalama loloto o le ultraviolet.O le tele o taimi e faafia afe ona laʻititi nai lo le oneone.
O lo'o fa'ao'o atu le malamalama i luga o le wafer e ala i le "mask plate" ma o le lithography optics (le tioata o le DUV system) e fa'aiti'itia ma taula'i atu le mamanu o le ta'amilosaga fuafuaina i luga o le masini matapulepule i luga o le photoresist i luga o le wafer.E pei ona faamatalaina muamua, pe a pa le moli i le photoresist, e tupu se suiga o vailaʻau e faʻapipiʻi ai le mamanu i luga o le masini matapulepule i luga o le paʻu photoresist.
O le fa'asa'o sa'o o le fa'ata'ita'iga fa'aalia ose galuega fa'a'ole'ole, fa'atasi ai ma fa'alavelave fa'apitoa, fa'afoliga ma isi fa'aletonu fa'aletino po'o vaila'au e mafai uma i le faagasologa.O le mafuaaga lena o nisi taimi tatou te manaʻomia ai le faʻamalieina o le faʻataʻitaʻiga mulimuli e ala i le faʻasaʻoina o le mamanu i luga o le matapulepule ina ia foliga le mamanu lolomi i le auala tatou te mananaʻo ai.O la matou faiga e fa'aogaina ai le "computational lithography" e tu'ufa'atasia ai fa'ata'ita'iga algorithmic ma fa'amaumauga mai le masini lithography ma su'ega wafers e maua ai se mamanu matapulepule e matua'i 'ese'ese mai le fa'ata'ita'iga mulimuli, ae o le mea lena matou te manana'o e ausia aua na'o le pau lea o le auala e maua ai le mamanu fa'aaliga mana'omia.
Tusia
O le isi laasaga o le aveese lea o le photoresist faʻaleagaina e faʻaalia ai le mamanu manaʻomia.I le faagasologa o le "etch", e tao ma atiina ae le wafer, ma o nisi o photoresist e fufulu ese e faʻaalia ai se ala tatala 3D mamanu.O le faiga o le togitogiga e tatau ona fausia sa'o ma faifaipea e aunoa ma le fa'aleagaina o le fa'amaoni atoa ma le mautu o le fausaga o le chip.O faiga fa'akomepiuta maualuluga e mafai ai e le au fai mea'ai ona fa'aogaina mamanu fa'alua, fa'afa ma fa'alava e fau ai ni fua laiti o mamanu fa'aonaponei.
E pei o photoresists, etching e vaevaeina i ituaiga "mamago" ma "susu".E fa'aogaina e le fa'amamago se kesi e fa'amatala ai le fa'ata'ita'iga o lo'o fa'aalia i luga o le wafer.E fa'aaogaina e le fa'asusu susū auala fa'a-kemikolo e fa'amama ai le wafer.
O se pu e tele ni fa'afugaga, o lea e tatau ai ona fa'aeteete le fa'atonuina o le togitogiina ina ia 'alofia ai le fa'aleagaina o fa'alalo o se fausaga va'a e tele.Afai o le faʻamoemoega o le etching o le fatuina lea o se pu i totonu o le fausaga, e tatau ona faʻamautinoa e saʻo saʻo le loloto o le ana.O nisi o mamanu vaʻaia e oʻo atu i le 175 laulau, e pei o le 3D NAND, e faʻapitoa ma faigata le laasaga o le togiina.
Ion tui
O le taimi lava e mau ai le mamanu i luga o le wafer, o le wafer e tuʻi i ai iona lelei poʻo le leaga e faʻafetaui ai uiga taʻavale o se vaega o le mamanu.I le avea ai o se mea mo wafers, o le silikoni mata e le o se insulator atoatoa poʻo se taʻavale atoatoa.Silicon's conductive properties e pau i se mea i le va.
O le faʻatonuina o ions ua molia i totonu o le tioata silicon ina ia mafai ai ona faʻatonutonu le tafe o le eletise e fausia ai ki faʻaeletoroni o poloka faʻavae autu o le pu, o le transistors, e taʻua o le "ionization", lea e lauiloa foi o le "ion implantation".A mae'a ona fa'a'ona le vaega, ona aveese lea o le photoresist o totoe e puipuia ai le vaega e le'i togitogia.
afifiina
E afe ma afe laasaga e manaʻomia e fai ai se pu i luga o se wafer, ma e sili atu ma le tolu masina e alu ai mai le mamanu i le gaosiga.Ina ia aveese le chip mai le wafer, e tipi i totonu o tupe meataitasi e faʻaaoga ai se ili taimane.O nei tupe meataalo, e taʻua o le "bare die," e vaeluaina mai le 12-inisi wafer, o le tele e masani ona faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductor, ma talu ai ona o le tele o tupe meataalo e eseese, o nisi fasi keke e mafai ona aofia ai le faitau afe o tupe meataalo, ae o isi e aofia ai na o ni nai mea. taseni.
Ona tu'u loa lea o nei ma'i mafolafola i luga o se "mea'ai" - o se mea e fa'aogaina ai le pepa u'amea e fa'asa'o ai fa'ailoga o lo'o i totonu ma fa'aulu mai le wafer e leai se mea i le vaega atoa.Ona ufiufi lea i se "vevela vevela", o se tamai pusa u'amea puipui puipui o loʻo i ai se mea faʻafefe ina ia mautinoa o loʻo malu le pu i le taimi o le gaioiga.
Fa'amatalaga a le Kamupani
O le Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd. o lo'o gaosia ma fa'aulufale atu ni masini la'ititi la'ititi ma nofoaga talu mai le 2010. O le fa'aaogaina o a tatou lava tomai fa'apitoa R&D, fa'aa'oa'oina lelei le gaosiga, na manumalo ai NeoDen i le ta'uta'ua lelei mai tagata fa'atau i le lalolagi atoa.
faʻatasi ai ma le lalolagi i luga o 130 atunuu, o le faʻatinoga sili ona lelei, maualuga le saʻo ma le faʻamaoni o NeoDenmasini PNPfaia lelei mo le R&D, fa'ata'ita'iga fa'apolofesa ma la'ititi i le vaeluaga o le gaosiga o vaega.Matou te tuʻuina atu fofo faʻapolofesa o meafaigaluega SMT tasi taofi.
Faʻaopoopo: Nu.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, Saina
Telefoni: 86-571-26266266
Taimi meli: Apr-24-2022